集成電路用超純水設備的工藝流程以及特點
來源：南京純水設備??????2021/6/1 10:06:27??????點擊：
【南京純水設備】集成電路用超純水設備主要采用雙級反滲透+EDI連續電除鹽技術。前置預處理可有效去除原水中的膠體、懸浮物、余氯等雜質，通過雙級反滲透進一步提高水質，以延長EDI膜堆使用壽命。在用水點前采用氮封水箱，使產水水質更加穩定，電阻率能達到18 MΩ*cm（25℃）。
集成電路用超純水設備工藝流程：
原水→原水泵→石英砂過濾器→活性炭過濾器→軟水裝置→保安過濾器→一級高壓泵→一級反滲透→中間水箱→二級高壓泵→二級反滲透→EDI泵→EDI系統→拋光樹脂→氮封水箱→用水點南京超純水設備
集成電路用超純水設備的特點
1、EDI膜堆有連續運行性，離子交換和再生產同步，無需停機再生，無需酸堿儲運設備及計量設備等。
2、EDI采用連續電除鹽技術，離子交換和再生是同步的，其水質非常穩定，
3、采用氮封水箱，可有效防止超純水與空氣接觸，進一步穩定水質。南京實驗室純水設備
4、操作簡單，只需要調節EDI模塊的電壓、電流，實現了全自動的控制。
5、EDI超純水設備占地小，設備安裝維修簡單便捷，自動化程度高，便于管理。南京反滲透純水設備 南京EDI純水處理設備
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